http://ir-heating-supply.com/th/tags/%E0%B8%81%E0%B8%A5%E0%B8%B1%E0%B8%9A%E0%B9%84%E0%B8%9B/ Recent content in กลับไป on Leading IR Heating Supplier Hugo th Wed, 03 Jun 2026 12:23:39 +0800 http://ir-heating-supply.com/th/posts/wafer-back-grinding-support-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:23:39 +0800 http://ir-heating-supply.com/th/posts/wafer-back-grinding-support-heater/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ฮีตเตอร์รองพื้นสำหรับการเจียรหลังแผ่นเวเฟอร์"></p> <p>บนสายการผลิต 300mm การลดความหนาของ <a href="https://o-yate.net">wafer</a> ทันที ก่อนการ <a href="https://goldisgood.com">dicing</a> คือจุดที่ความเครียดทางความร้อนแปรเปลี่ยนเป็นการสูญเสียผลผลิต ฮีตเตอร์รองรับซึ่งมีการลัดวงจรหรือกระโดดขึ้นในระหว่างการเจียรด้านหลัง จะทำให้ wafer บางเกิดรอยแตกและก่อให้เกิดรอยแตกร้าวขนาดเล็กที่จะแสดงออกในภายหลังเป็นความล้มเหลว เราออกแบบฮีตเตอร์รองรับสำหรับงานเจียรด้านหลังเพื่อกำจัดความไม่แน่นอนนั้นและรักษาอุณหภูมิให้คงที่และสม่ำเสมอในบริเวณที่วัสดุรองรับมีความเปราะบางมากที่สุด</p> <p>หัวใจหลักคือชุดปล่อยคลื่นอินฟราเรดควอตซ์ระยะสั้น ที่ปรับแต่งสำหรับการให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและเฉพาะจุดโดยมีความสม่ำเสมอในระดับ wafer ที่ ±0.1°C ความสามารถในการทำซ้ำของอุณหภูมิคงที่ที่ ±0.5°C ตลอดการเปลี่ยนกะและตลอดอายุหลอดไฟ เพื่อให้การจัดการพลังงานความร้อนยังคงอยู่ในข้อกำหนดสำหรับ wafer ทุกชิ้น โซนความร้อนถูกแยกออกจากเวทีกลไก จึงลดการสร้างอนุภาคให้อยู่ในระดับศูนย์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ</p> <p>ได้รับการจัดอันดับสำหรับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และทุกพื้นผิวในเส้นทางความร้อนถูกกำหนดสเปคเพื่อจำกัดการปล่อยแก๊สและการหลุดลอกของวัสดุ</p> <p>ในการเจียรด้านหลัง จำเป็นต้องใช้ความร้อนเพื่อผ่อนคลายความเครียดและรักษาการยึดเกาะ โดยไม่ให้ photoresist อ่อนตัวหรือลามฟิล์มด้านหลังเสียหาย ฮีตเตอร์ของเราสามารถขึ้นถึงจุดตั้งค่าได้ภายในไม่กี่วินาที รักษาอุณหภูมิให้คงที่แม้ภายใต้โหลดแกนหมุนที่เปลี่ยนแปลง และทำงานได้ต่อเนื่อง 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่ได้วางแผน ผลประโยชน์ที่ได้คือการลดการแตกขอบ wafer ลดของเสีย และควบคุมความหนาได้อย่างสม่ำเสมอตลอดล็อต</p> <p>การติดตั้งขึ้นอยู่กับการจับคู่ขนาดของ chuck และ interface ของ carrier ชุด <a href="https://o-yate.com">retrofit</a> มีจำหน่ายสำหรับแพลตฟอร์มทั่วไป แต่ความคลาดเคลื่อนในการจัดตำแหน่งต้องเข้มงวด ควรวางแผนรันทดสอบสั้น ๆ เพื่อปรับแต่งโปรไฟล์ PID ให้เหมาะสมกับชั้นฟิล์มและรอบการทำงานของ spindle</p> <p>เมื่อปรับเทียบแล้ว หน้าต่างกระบวนการจะเปิดกว้างและคงที่ต่อเนื่อง</p> <iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/hkm_HMdd15g?feature=oembed" title="ฮีตเตอร์รองพื้นสำหรับการเจียรหลังแผ่นเวเฟอร์" frameborder="0" allow="accelerometer; autoplay; clipboard-write; encrypted-media; gyroscope; picture-in-picture; web-share" referrerpolicy="strict-origin-when-cross-origin" allowfullscreen></iframe>