http://ir-heating-supply.com/ru/tags/%D0%BD%D0%B0%D0%B7%D0%B0%D0%B4/ Recent content in Назад on Leading IR Heating Supplier Hugo ru Wed, 03 Jun 2026 12:23:39 +0800 http://ir-heating-supply.com/ru/posts/wafer-back-grinding-support-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:23:39 +0800 http://ir-heating-supply.com/ru/posts/wafer-back-grinding-support-heater/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Подогреватель поддержки обратного шлифования пластин"></p> <p>На 300mm линии, утонение подложек непосредственно перед резкой — это этап, на котором тепловой стресс приводит к потере выхода годных изделий. Подогреватель поддержки, который сбоить или резко повышать температуру во время обратного шлифования, может привести к трещинам на тонких подложках и появлению микротрещин, проявляющихся позже как дефекты. Мы разработали наш подогреватель поддержки для обратного шлифования с целью устранить эту неопределённость и поддерживать стабильное и равномерное тепло в наиболее уязвимых зонах подложки.</p> <p>Основой является массив кварцевых излучателей коротковолнового инфракрасного диапазона, настроенный для быстрого локального нагрева с равномерностью по подложке ±0,1°C. Повторяемость температуры сохраняется на уровне ±0,5°C при сменах смен и в течение срока службы ламп, что обеспечивает соблюдение теплового бюджета для каждой подложки. Горячая зона изолирована от механической платформы, что эффективно сводит к нулю образование частиц.</p>