Линейный инфракрасный нагревательный излучатель

Wed, 24 Jun 2026 04:06:23 +0800

На этапе литографии даже небольшие колебания температуры в половину градуса могут привести к значительным изменениям ширины линий и снижению качества продукции. Вы стараетесь соблюдать заданные параметры, но модуль нагрева мешает обеспечению однородности температуры по всей площади пластины. Кроме того, появление частиц в чистой комнате также создает проблемы. Линейные инфракрасные нагреватели позволяют решить оба этих вопроса одновременно.

Что важно с технической точки зрения
Линейные инфракрасные нагреватели обеспечивают быстрое нагревание, при этом температура на поверхности пластины остается стабильной в пределах ±0.1°C. Изменение установленных значений температуры происходит за считаные секунды, что исключает возможность перегрева. Эти нагреватели можно использовать в чистых комнатах класса 1–100, где не происходит образования частиц, что подтверждается данными контроля в реальном времени. Рабочая нагрузка нагревателя остается стабильной в течение более 5,000 часов; отклонение интенсивности нагрева составляет менее 5%. Габариты и интерфейсы нагревателя соответствуют стандартам оборудования для производства полупроводников, поэтому его можно использовать без необходимости изменения конструкции процессной камеры.

Линейный on Leading IR Heating Supplier

Линейный инфракрасный нагревательный излучатель