Сушка пластин МЕМС без проблем
При сушке пластин датчиков МЕМС необходимо соблюдать определенные правила. Нужно как можно быстрее удалить жидкость с поверхности пластины, но если делать это слишком агрессивно, можно повредить крайне тонкие и чувствительные микроструктуры.
Долгое время для сушки использовались обычные конвекционные печи. Но на самом деле разогрев большого объема воздуха ради сушки тонкой пластины — это пустая трата ресурсов. Поэтому мы перешли на использование ламп с коротковолновым инфракрасным излучением. Это более эффективный способ сушки, который также помогает снизить уровень выбросов углерода в чистых помещениях.
Эффективное распределение тепла
Ключевое преимущество инфракрасного излучения заключается в высокой плотности энергии. Вместо того чтобы разогревать всю комнату, мы направляем энергию прямо на поверхность пластины. Это позволяет достичь необходимой температуры за считанные секунды. Таким образом не тратится лишняя энергия, что снижает затраты на электроэнергию за единицу продукции. Это просто эффективно.
Оборудование для генерации тепла
Мы используем кварцевые корпуса высокой чистоты, поскольку они позволяют проходить ультрафиолетовому и инфракрасному излучению без каких-либо препятствий.
Но не все пластины одинаковы. В зависимости от типа пластины мы добавляем специальные покрытия на лампы, чтобы скорректировать спектр излучения. Это помогает удалить остатки жидкости, не повреждая при этом саму пластину.
Кроме того, мы используем стандартные промышленные соединители. При обслуживании оборудования не нужно заново подключать всю проводку. Это упрощает процесс обслуживания.
Недостатки и способы их преодоления
Коротковолновое инфракрасное излучение — это мощный инструмент, но для его использования необходимо точно контролировать скорость перемещения пластины и высоту расположения лампы. Если пластина находится под лампой слишком долго, это может привести к тепловым нагрузкам или деформации пластины. Логика управления оборудованием должна быть безупречной, иначе датчики могут быть повреждены.
Переход к «зелленой фабрике» — это не просто модный тренд. Это способ избавиться от энергозатратных систем обогрева. Благодаря этому снижается объем используемого оборудования, а также уровень выбросов CO2. Это полезно как для производства, так и для окружающей среды.