No ambiente de litografia, até mesmo uma pequena quantidade de umidade na superfície pode causar problemas durante o processo de secagem. Isso faz com que perca-se o controle sobre a espessura do fotorresistente e dos CDs, antes mesmo de se usar o equipamento de exposição. As placas quentes podem ter dificuldade em remover essa umidade rapidamente, sem aquecer também o lado posterior da wafer. É aí que começam a surgir distorções nos padrões. Criamos uma lâmpada para remoção de umidade, que permite uma secagem rápida e eficaz, sem afetar negativamente o equilíbrio térmico da wafer.
A unidade utiliza elementos de halogênio de onda curta, dentro de um invólucro de quartzo, o que permite que a energia seja liberada de forma rápida e controlada. Na área exposta, a uniformidade térmica é de ±0,1°C, e a repetibilidade do ponto de ajuste é alta – dentro de alguns graus. Essa estabilidade garante que os perfis de secagem não mudem de lote para lote.
A unidade pode ser utilizada em salas limpas de classe 1–100, sem aumentar a quantidade de partículas presentes no ar. Além disso, seu design leve reduz o atraso térmico quando se alteram as configurações de processamento.
Na prática, as wafers entram no equipamento de secagem com menos defeitos relacionados à umidade, e os perfis do fotorresistente ficam mais precisos. O tempo de ciclo diminui, pois a remoção da umidade acontece em segundos, em vez de minutos. A consumo de energia também é baixo, em comparação com outros equipamentos de secagem. A confiabilidade dessas unidades é essencial para operações contínuas, 24/7, sem interrupções indesejadas.
A instalação é simples, mas o alinhamento é crucial. A lâmpada precisa iluminar apenas a superfície frontal da wafer, e o ângulo do feixe deve ser ajustado de acordo com o tamanho da wafer, para que não haja superaquecimento nas bordas. É preciso realizar alguns testes iniciais para ajustar o tempo e a intensidade da luz, de modo que a lâmpada funcione em harmonia com o processo de secagem.
Os benefícios são evidentes: o fotorresistente comporta-se de maneira previsível, o controle dos CDs permanece preciso, e não há mais necessidade de descartar lotes inteiros por causa da umidade presente no material.