Pare de esperar que a câmara de vácuo aqueça.
Se você está tentando criar uma fábrica inteligente e moderna, provavelmente já percebeu que gerenciar o calor é uma tarefa extremamente difícil. O aquecimento por meio de resistências tradicionais é muito lento. Você passa metade do tempo esperando que as coisas esquentem, e tentar fazer com que esse processo funcione bem em conjunto com as ferramentas digitais é um verdadeiro pesadelo.
É aí que entram os aquecedores infravermelhos. Em vez de aquecer todo o ambiente, eles utilizam radiação direta. Isso significa que você alcança a temperatura desejada quase instantaneamente. Não precisa mais ficar esperando que as paredes da câmara esquentem antes de poder começar a trabalhar.
Tornando tudo “inteligente”
Uma fábrica inteligente só é tão boa quanto seus mecanismos de feedback. Se seu aquecedor demorar dez minutos para reagir, seus dados não têm valor algum.
Os sistemas infravermelhos são diferentes. Eles reagem no momento em que você altera a voltagem. Quando conectados a um PLC com um controlador PID rápido, você pode ajustar o fluxo de calor na hora. Assim, você consegue ter um mapa térmico preciso do wafer, com precisão até mesmo à milissegunda. De repente, o aquecimento deixa de ser apenas uma tarefa secundária – torna-se um dado preciso que pode ser controlado.
A realidade do trabalho em vácuo
Mas há um problema: quando você está em um ambiente de vácuo, perde-se o resfriamento convectivo. Tudo acontece por meio de radiação.
Nós fabricamos esses aquecedores para suportar altas potências, mas é preciso ter cuidado. Se você aumentar demais a potência, os sistemas de resfriamento terão que trabalhar mais do que o normal. Se eles não conseguirem lidar com o aumento de calor, as vedações da câmara vão falhar. É preciso equilibrar tudo isso. Certifique-se de que seu sistema de resfriamento seja capaz de suportar o calor produzido, caso contrário, você terá que substituir as vedações com frequência.
Recuperando espaço no chão
Uma das vantagens dos aquecedores infravermelhos é que eles não ocupam muito espaço. Você pode eliminar aqueles fornos volumosos e substituí-los por esses aquecedores. Isso reduz significativamente o tempo de ciclo. Como a energia é direcionada exatamente para onde está o substrato, não há mais perda de energia ao aquecer as bombas de vácuo e as paredes da câmara. É mais eficiente, economiza energia e facilita bastante a expansão da linha de produção.