Tornando sua fábrica de semicondutores realmente “inteligente” com infravermelho de alta pureza
Se você opera uma fábrica de semicondutores moderna, certamente sabe que as lâmpadas de aquecimento de ultra-alta pureza são essenciais para gerar energia térmica. Mas o problema é que ter calor sozinho já não é suficiente. Com tudo indo em direção à Indústria 4.0, os elementos de aquecimento precisam fazer mais do que simplesmente se aquecerem. Eles precisam interagir diretamente com o ciclo de produção.
Ajustando a temperatura corretamente
Usamos infravermelho de onda curta porque ele é muito rápido. Isso elimina o atraso entre o acionamento do interruptor e a atingida da temperatura desejada.
Quando se trata de wafers de 300 mm, não pode haver “pontos quentes” ou áreas frias; a temperatura deve ser uniforme em toda a superfície. Para isso, ajustamos a potência e a tensão de acordo com as características específicas do tubo de quartzo utilizado. Embora sistemas de alta potência sejam ótimos para aumentar a produtividade, é preciso ter cuidado: verifique se as fontes de energia são capazes de suportar a corrente inicial necessária. Caso contrário, os disjuntores vão se travar a cada partida da máquina. E ninguém quer isso.
Mantendo tudo limpo (e digitalizado)
Em uma fábrica, até mesmo uma pequena mancha de contaminação pode causar problemas graves. Por isso, usamos quartzo sintético de alta qualidade, que evita que gases prejudiciais afetem o processo de produção.
Mas a verdadeira magia acontece quando se substituem os controles analógicos antigos por controladores PID e sensores digitais. Assim, é possível obter dados térmicos em tempo real, direto para o sistema MES. Isso é extremamente útil: você pode monitorar a degradação do filamento ao longo do tempo. Em vez de esperar que uma lâmpada falhe durante o processo e estrague todo um lote de produtos, o sistema avisa quando é hora de substituí-la. Simples.
A realidade
Aqui está o trade-off: esses sistemas de infravermelho geram uma enorme quantidade de energia em um espaço pequeno. Não basta simplesmente colocá-los em uma estrutura antiga. O calor emitido é intenso. Se você não recalibrar o fluxo de ar e os sistemas de resfriamento, a estrutura pode se deformar. Além disso, não se esqueça dos cabos elétricos: é preciso proteção adequada para evitar interferências eletromagnéticas nos sensores. Se os dados coletados forem ruídos, seu sistema “inteligente” não será tão eficaz assim.