Secagem de wafers MEMS sem complicações
Quando se trata da secagem de wafers de sensores MEMS, é preciso ter cuidado redobrado. É necessário eliminar o líquido rapidamente – mas, se for feito de maneira excessivamente agressiva, as estruturas microscópicas delicadas podem ser danificadas.
Por muito tempo, as pessoas utilizaram fornos convencionais para esse fim. Mas, honestamente, aquecer uma grande quantidade de ar só para secar um wafer fino é um desperdício. Por isso, passamos a usar lâmpadas de aquecimento por ondas curtas de infravermelho. É uma maneira mais eficiente de secar os wafers, além de reduzir a pegada de carbono na sala limpa.
Levar o calor exatamente onde é necessário
O ponto importante com o infravermelho é a densidade de potência. Em vez de aquecer toda a câmara, concentramos a energia diretamente na superfície do wafer. Isso faz com que o líquido evapore em segundos. Não há mais necessidade de desperdiçar energia com o ar ao redor. Assim, os ciclos de secagem são mais rápidos e a conta de eletricidade fica menor. É simplesmente mais eficiente.
Os componentes necessários para o aquecimento
Usamos invólucros de quartzo de alta pureza, pois eles permitem a passagem dos raios UV e infravermelhos sem bloqueá-los.
Mas nem todo wafer é igual. Dependendo do material utilizado, adicionamos revestimentos especiais às lâmpadas para ajustar o espectro de emissão. Esse é o segredo para fazer com que o resíduo evapore sem danificar o wafer.
Além disso, usamos conectores industriais padrão. A última coisa que se quer durante um processo de manutenção é ter que reconectar todos os cabos. Esses conectores são fáceis de instalar.
As desvantagens e como lidar com elas
O infravermelho de ondas curtas não é mágico; ele é poderoso. E, com esse poder, vem também uma curva de aprendizado. É preciso ajustar com precisão a velocidade do transportador e a altura da lâmpada. Se um wafer permanecer sob a lâmpada por alguns segundos a mais, pode haver estresse térmico ou deformação no wafer. A lógica do sistema PLC precisa ser precisa, caso contrário, os sensores podem ser danificados.
Avançar em direção a uma “fábrica verde” não é apenas uma expressão popular. Trata-se de eliminar aqueles aquecedores que consomem muita energia. Assim, a área ocupada pelos equipamentos diminui, e há uma redução significativa nas emissões de CO2. Isso é benéfico tanto para o processo de produção quanto para o planeta.