Pare de perder tempo esperando que o forno se aqueça.
No mundo do processamento de semicondutores, cada segundo gasto esperando é, basicamente, dinheiro que vai embora.
Muitas fábricas ainda utilizam sistemas de circulação de ar quente. É um método antiquado: você aquece o ar e espera que ele aqueça o componente. É lento e ineficiente.
Nós fazemos as coisas de maneira diferente. Usamos lâmpadas infravermelhas com refletores de ouro. Em vez de manipular o ar, a radiação infravermelha atinge diretamente o substrato. É um método mais eficiente.
Por que ouro?
A maioria das pessoas usa refletores de alumínio, mas o problema é que o alumínio absorve muita energia. O ouro é diferente: ele reflete mais de 98% da radiação infravermelha. Isso transforma o calor em um feixe concentrado. Assim, você obtém maior densidade de calor exatamente onde é necessário – no wafer – sem precisar aumentar a conta de energia.
O problema do atraso
Se você já usou um sistema de ar quente, conhece bem a frustração causada pela inércia térmica. Você muda a temperatura e precisa esperar até que toda a câmara se aqueça. É demorado.
As lâmpadas infravermelhas não têm esse problema. Quase não há atraso. Basta ligar a lâmpada, e você já está na temperatura desejada em segundos. Isso reduz muito o tempo de processamento e libera espaço no chão da fábrica.
O lado negativo (pois sempre existe um)
Bem, não vou dizer que isso seja uma solução mágica para todos os casos. A radiação infravermelha de alta intensidade é poderosa, o que significa que é preciso ter cuidado.
Como os refletores de ouro concentram tanto o calor, é possível criar pontos quentes se a distância não for correta. Não dá para simplesmente improvisar. Os suportes de montagem precisam estar perfeitamente alinhados, até mesmo no milímetro. Se estiverem muito perto, o componente será danificado. Se estiverem muito longe, tudo volta ao ponto de partida.
Para garantir segurança, geralmente usamos um controlador PID e sensores de resposta rápida. Isso evita que a temperatura suba demais, assim você não corre o risco de danificar o substrato, mantendo ao mesmo tempo aquela velocidade incrível.