http://ir-heating-supply.com/pl/tags/mi%C4%99kki/ Recent content in Miękki on Leading IR Heating Supplier Hugo pl Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/pl/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/pl/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Temperatura wstępnego wypieku fotorezystu IR"></p> <p>Na powierzchni litografii, miękkie wypiekanie, które waha się nawet o 2°C, zakłóca termiczne budżety fotoresystorów. Retencja rozpuszczalnika wzrasta. Jednorodność CD ulega pogorszeniu. Ta różnica wyznacza granicę między dobrym wsadem a odpadami. Zbudowaliśmy nasz moduł podczerwieni do miękkiego wypiekania, aby wyeliminować tę zmienność.</p> <p>Co jest technicznie istotne<br> Emitery IR używają kwarcu krótkofalowego, nagrzewając powierzchnię wafla bez kontaktu. Kontrola temperatury utrzymuje ±0,1°C w całym waflu, a powtarzalność pozostaje w granicach ±0,2°C między wsadami. Profil jest szybki: 15 sekund do stabilizacji, co pozwala skrócić czas wypieku bez przekroczenia.</p>