SRD (Spin Rinse Dryer) infraroodlamp

Thu, 02 Jul 2026 08:44:47 +0800

Op de productiehal is het SRD-proces een snel en intensief proces: spoelen, drogen en vasthouden. Als de IR-lamp niet meer goed werkt, merk je dat meteen: er ontstaan vlekken op de wafers, er zijn partikels die zich niet op de juiste plek bevinden, en de kwaliteit van de fotoresist verbetert pas na uren. We hebben onze SRD-infraroodlamp zo ontworpen dat deze 7×24 uur per dag kan werken, zonder dat dit tot problemen leidt.

Wat belangrijk is, is dat het om kortegolf-infraroodlicht gaat, dat wordt gegenereerd door kwartscomponenten met een snelle respons. De responstijd is minder dan een seconde, zodat er een goede thermische uniformiteit over de hele oppervlakte van de wafer wordt behouden. Tijdens de droogfase wordt de temperatuur nauwkeurig op ±0,1°C gehouden, waardoor de integriteit van de fotoresist behouden blijft na het drogen. De lamp werkt goed in omgevingen van klasse 1–100: er worden geen partikels geproduceerd, en de afgesloten behuizing voorkomt uitstoot en vervuiling. Je kunt rekenen op meer dan 5.000 uur gebruik met minder dan 5% intensiteitsverlies, zonder onverwachte storingen tijdens het continu gebruik.

Trockener) on Leading IR Heating Supplier

SRD (Spin Rinse Dryer) infraroodlamp