Op de lithografielijn wordt elke afwijking van zelfs maar een halve graad snel zichtbaar: variaties in de dikte van de lijnen en een lagere opbrengst. Je probeert natuurlijk om aan de specificaties te voldoen, maar het verwarmingssysteem bemoeilijkt dit door ongelijkheden tussen de verschillende delen van de wafer. Bovendien veroorzaken de deeltjes die worden gegenereerd problemen in de schone ruimte. Lineaire infraroodverwarming lost beide problemen tegelijk op.
Wat technisch belangrijk is: De lineaire infraroodemitter verwarmt rechtstreeks en snel, waardoor de uniformiteit op het niveau van de wafer binnen ±0,1°C blijft. De instellingen kunnen in minder dan een seconde worden aangepast, zodat er geen temperatuurschommelingen optreden. De emitter kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100, waar geen deeltjes worden gegenereerd. De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% intensiteitsafwijking. De afmetingen en interfaces van de emitter passen bij standaard halfgeleiderapparatuur, zodat deze gemakkelijk kan worden geïnstalleerd zonder dat de proceskamer hoeft te worden aangepast.
Waarom dit werkt bij het verwerken van photoresist: Bij het verwerken van photoresist is het belangrijk dat de thermische omstandigheden constant zijn. Met deze emitter wordt de warmteverdeling goed gereguleerd, waardoor de kwaliteit van het product verbetert en er minder herwerkingswerk nodig is. De opwarmtijd is korter, waardoor de totale cyclusduur korter wordt, zonder dat dit invloed heeft op de energieverbruik. Het energieverbruik daalt omdat de warmteverdeling precies wordt gereguleerd. Het resultaat is een consistente opbrengst, voorspelbare onderhoudsintervallen en minder problemen die te maken hebben met de temperatuur tijdens het proces.
Wat je moet weten bij de installatie: De alignering moet nauwkeurig zijn – optische alignering ten opzichte van het vlak van de wafer, evenals controle van de afstanden om ongewenste reflecties te voorkomen. Er zal een korte testperiode nodig zijn om de emissiviteit en de sterkte van de warmtestraling af te stemmen op jouw specifieke behoeften. De emitter werkt met standaard aansluitingen voor stroom en besturing, maar plan alvast goed de thermische beheersing – koeling en bescherming – zodat de kamerruimte koel blijft terwijl de wafer heet wordt.