http://ir-heating-supply.com/ko/tags/%ED%8F%AC%ED%86%A0%EB%A0%88%EC%A7%80%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포토레지스트 on Leading IR Heating Supplier Hugo ko Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="포토레지스트 소프트 베이크 온도 IR"></p> <h1 id="리소그래피-라인에서-2c-차이만으로도-소프트-베이크가-포토레지스트의-열적-허용-범위를-크게-벗어나게-된다-솔벤트-잔류가-증가하고-cd크리티컬-치수-균일성에-영향을-준다-이-차이가-양품과-스크랩을-가르는-경계다-당사는-이러한-변동성을-제거하기-위해-적외선-소프트-베이크-모듈을-개발했다">리소그래피 라인에서, 2°C 차이만으로도 소프트 베이크가 포토레지스트의 열적 허용 범위를 크게 벗어나게 된다. 솔벤트 잔류가 증가하고, CD(크리티컬 치수) 균일성에 영향을 준다. 이 차이가 양품과 스크랩을 가르는 경계다. 당사는 이러한 변동성을 제거하기 위해 적외선 소프트 베이크 모듈을 개발했다.</h1> <p>기술적으로 중요한 점<br> IR 방출기는 단파장 쿼츠를 사용하여 웨이퍼 표면을 직접 가열한다—접촉 없이. 온도 제어는 웨이퍼 전면에서 ±0.1°C 내외를 유지하며, 배치간 반복성은 ±0.2°C 이내다. 프로파일 안정화 시간이 짧아 15초 만에 목표 온도에 도달하므로, 과도한 오버슈트 없이 베이크 시간을 단축할 수 있다.</p>