http://ir-heating-supply.com/ko/tags/%EC%A0%9C%EA%B1%B0/ Recent content in 제거 on Leading IR Heating Supplier Hugo ko Thu, 25 Jun 2026 04:44:19 +0800 http://ir-heating-supply.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 04:44:19 +0800 http://ir-heating-supply.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="웨이퍼 수분 제거 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서는 표면에 남은 수분이 있으면 부드러운 건조 과정에 방해가 됩니다. 노출 장비를 사용하기도 전에 사진감광제의 두께와 CD의 품질을 제어할 수 없게 됩니다. 핫플레이트를 사용해 그 필름을 빠르게 제거하려 해도 웨이퍼의 뒷면이 과열되는 문제가 생기고, 그 결과 패턴이 왜곡됩니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 웨이퍼 내부의 수분을 효과적으로 제거할 수 있는 램프를 개발했습니다. 이 램프는 웨이퍼의 앞면만을 건조시켜주며, 빠른 속도로 작동하면서도 열에 의한 손상을 최소화합니다.</p>