http://ir-heating-supply.com/ko/tags/%EC%A0%84%EC%95%95/ Recent content in 전압 on Leading IR Heating Supplier Hugo ko Sat, 27 Jun 2026 04:49:55 +0800 http://ir-heating-supply.com/ko/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ Sat, 27 Jun 2026 04:49:55 +0800 http://ir-heating-supply.com/ko/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="팹 IR용 전압 조절기"></p> <p>팹 내에서는 포토레지스트가 온도에 매우 민감합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 1°C만 변해도, 웨이퍼의 치수가 정확한 값에서 벗어나게 되며, 에칭 성능도 저하됩니다. IR 가열 단계를 일반적인 열원으로 취급한다면 문제가 생길 수 있습니다. 실제로 웨이퍼 전체의 온도를 균일하게 유지하려면 램프의 전압을 안정적으로 유지해야 합니다.</p>