http://ir-heating-supply.com/ja/tags/%E9%99%A4%E5%8E%BB/ Recent content in 除去 on Leading IR Heating Supplier Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 04:44:19 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 04:44:19 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ウェーハ水分除去ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程では、表面に付着しているわずかな水分が、ソフトベイクの工程を妨げることがあります。露光装置を使う前から、フォトレジストの厚みやCDの品質が乱れてしまいます。ホットプレートでは、ウェーハの裏面が過度に加熱されないようにしながら、迅速に水分を除去するのが難しく、その結果、パターンに歪みが生じます。私たちは、この問題を解決するために、ウェーハの表面のみを効率的に乾燥させる装置を開発しました。これにより、熱負荷も抑えられます。</p>