http://ir-heating-supply.com/ja/tags/%E8%A6%8F%E5%88%B6%E5%BD%93%E5%B1%80/ Recent content in 規制当局 on Leading IR Heating Supplier Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 04:49:55 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ Sat, 27 Jun 2026 04:49:55 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ファブIR用電圧レギュレータ"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストは温度に敏感な素材です。ソフトベイクやハードベイク時の温度<a href="https://o-yate.net">変動</a>が1°Cでもあると、<a href="https://goldisgood.com">重要</a>な寸法が目標値から外れてしまい、エッチングの選択性も低下します。IR加熱装置を単なる熱源として扱ってはいけません。実際にウェーハ全体で均一な温度を実現するためには、ラムプの電圧を安定させることが重要です。</p> <p><strong>重要なのは何か</strong> ファブ内のIR装置には、ライン電圧が変動してもラムプの出力を一定に保つための電圧調整器が必要です。これにより、ベイク面全体でウェーハの温度を±0.1°C以内に保つことができます。その結果、再現性の高いソフトベイクやハードベイクが可能となり、フォトレジストの溶剤が適切に除去されます。クリーンルームのクラス1～100を維持するためには、材料のガス<a href="https://henruite.com">放出</a>を抑え、構造をしっかりと管理する必要があります。そうすれば、黒体による<a href="https://o-yate.com">汚染</a>や粒子がウェーハやコーティング工程に戻ってくることもありません。</p>