http://ir-heating-supply.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Leading IR Heating Supplier Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="フォトレジストソフトベイク温度 IR"></p> <h1 id="リソグラフィー現場での技術的な重要性">リソグラフィー現場での技術的な重要性</h1> <p>ソフトベイクで2℃の変動があると、フォトレジストの熱バジェットが乱れます。溶剤保持が増加し、CDの均一性が損なわれます。この違いは良品ロットと廃棄物の境界線です。<a href="https://o-yate.com">我々</a>はこの変動を排除するために赤外線ソフトベイクモジュールを開発しました。</p>