http://ir-heating-supply.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on Leading IR Heating Supplier Hugo ja Fri, 17 Jul 2026 06:01:59 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 17 Jul 2026 06:01:59 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <p>クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために<br> シリコンウエハを加熱する際、単に温度を上げるだけでは<a href="https://henruite.com">不十分</a>です。クラス100の環境では、ほんの小さなほこりの粒子でさえも、まるで手榴弾のような存在です。それによって、<a href="https://o-yate.net">数秒</a>で大量のチップが破壊されてしまいます。</p> <p>そのため、私たちは従来の抵抗式ヒーターを使わないようにしています。そうしたヒーターは、粒子を放出したりガスを発生させたりする傾向があり、純度維持にとっては大敵です。代わりに、高純度の石英製のIRランプを使用しています。これにより、よりクリーンな環境で作業が行えます。</p> http://ir-heating-supply.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="フォトレジストソフトベイク温度 IR"></p> <h1 id="リソグラフィー現場での技術的な重要性">リソグラフィー現場での技術的な重要性</h1> <p>ソフトベイクで2℃の変動があると、フォトレジストの熱バジェットが乱れます。溶剤保持が増加し、CDの均一性が損なわれます。この違いは良品ロットと廃棄物の境界線です。<a href="https://o-yate.com">我々</a>はこの変動を排除するために赤外線ソフトベイクモジュールを開発しました。</p>