http://ir-heating-supply.com/ja/tags/%E5%8A%A0%E7%86%B1/ Recent content in 加熱 on Leading IR Heating Supplier Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 04:06:23 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/linear-infrared-heating-emitter/ Wed, 24 Jun 2026 04:06:23 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/linear-infrared-heating-emitter/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="直線型赤外線加熱エミッター"></p> <p>リソグラフィーの工程では、わずか0.5度程度の温度変動でもすぐに問題が<a href="https://goldisgood.com">発生</a>します。つまり、線幅のばらつきや歩留まりの低下が起こります。目標値を達成しようとしても、ウェーハ全体の均一性を保つのは難しく、また微粒子の発生によってクリーンルーム内の環境も悪化します。一方、線形赤外線加熱器は、これらの問題を同時に解決します。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 線形赤外線エミッターは直接加熱するため、迅速に作用し、ウェーハ全体の温度を±0.1°C以内に保ちます。設定値の変更も数秒以内で行えるため、温度のオーバーシュートはありません。この装置は、クラス1～100のクリーンルームで使用でき、微粒子の発生もありません。出力は5,000時間以上にわたって安定しており、強度の変動は5％未満です。サイズやインターフェースは標準的な半導体装置と同じなので、プロセスチャンバーを改修する必要はありません。</p> http://ir-heating-supply.com/ja/posts/semiconductor-infrared-heating-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 20:20:45 +0800 http://ir-heating-supply.com/ja/posts/semiconductor-infrared-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="半導体赤外線ヒーターランプ"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>ファブ現場では、フォトレジストのソフトベイクで0.5℃の<a href="https://henruite.com">温度</a>変動がCD（Critical Dimension）を変化させること、そして乾燥ムラがエッジビーズを生じさせ、ランプのコストをはるかに超える損失を招くことを速やかに理解する。サーマルバジェットが厳しく、時間が限られている場合、赤外線加熱が適切な選択となる。</p>