Componenti per riscaldatori a semiconduttore Cina

Fri, 03 Jul 2026 08:44:15 +0800

Nella sala di produzione, il wafer di 300 mm esce dalla traiettoria di trasporto e finisce sulla piattaforma di cottura. Anche una piccola variazione di temperatura, pari a pochi decimi di grado, può far sì che il profilo termico del photoresist cambi. I CD rischiano di danneggiarsi. Tutto diventa quindi a rischio. È necessario che il calore venga applicato esattamente dove richiesto dalle specifiche tecniche del processo, senza eccezioni.

Quello che è importante dal punto di vista tecnico In Cina produciamo componenti per riscaldatori a onde infrarosse per lunghezza d’onda corta, che garantiscono una uniformità termica fino a livelli sub-millimetrici. L’array di emettitori in quarzo è montato su un corpo ceramico a bassa massa termica, grazie al quale l’emittente raggiunge rapidamente la temperatura desiderata, senza superarla. Su tutta la superficie di cottura, miriamo a un’accuratezza di ±0,1 °C; inoltre, la ripetibilità tra un ciclo e l’altro rimane inferiore a 0,2 °C.

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