Smettete di combattere l’ozono nelle vostre strutture di produzione
Siamo onesti: pulire i residui prodotti dagli strumenti utilizzati è la parte più difficile del lavoro.
Nella produzione di semiconduttori, tutti cerchiamo di ridurre al minimo le emissioni. Ma se si utilizzano lampade IR standard o forni a convezione, probabilmente si è notato un problema: tali lampade emettono luce nella gamma delle lunghezze d’onda 185-254 nm, il che trasforma l’aria presente nella sala pulita in una sorta di “fabbrica di ozono”.
L’ozono è davvero un problema: distrugge i circuiti e costringe i sistemi di filtraggio dell’aria a funzionare in modo continuo per mantenere l’aria respirabile. È una battaglia continua.
Eliminare l’ozono alla fonte
Abbiamo deciso di smettere di trattare solo i sintomi e di affrontare direttamente la causa del problema.
Utilizzando filtri di quarzo specializzati e controllando attentamente la temperatura del filamento, riusciamo a modificare lo spettro di emissione delle lampade. In pratica, eliminiamo completamente la gamma delle lunghezze d’onda VUV.
Il risultato? Otteniamo comunque tutto il calore necessario per indurire le resine o essiccare i fotoreagenti, ma senza i dannosi sottoprodotti chimici. È un processo più efficiente, perché è progettato fin dall’inizio in questo modo, e non perché vengono aggiunti dei filtri costosi alla fine della linea di produzione.
Calore dove ne avete davvero bisogno
Il riscaldamento a convezione è come cercare di riscaldare un singolo pisello riscaldando tutta la cucina: è uno spreco di energia.
Le nostre lampade IR sono diverse: colpiscono direttamente il substrato su cui vengono applicate. Il processo è veloce, molto veloce. E questo significa che la postazione di essiccazione può essere molto più piccola.
Attenzione, però: le lampade IR ad alta intensità sono molto potenti. Se il substrato è troppo sottile, potrebbe deformarsi se non ci si presta attenzione. È quindi importante regolare correttamente la velocità del nastro trasportatore e la distanza tra la lampada e il substrato, per ottenere il livello di produzione desiderato senza danneggiare il materiale.
Installazione semplice
La cosa migliore? Si tratta di sostituti semplici da installare. Non è necessario riorganizzare tutta l’elettricità presente nella struttura; funzionano con l’energia elettrica già disponibile.
E poiché non c’è più bisogno di gestire l’ozono, gli involucri delle lampade non devono essere realizzati con materiali troppo resistenti e costosi. Questo permette di risparmiare parecchi soldi nel tempo.
Vi prego, controllate l’allineamento del riflettore ogni sei mesi. Ci vuole solo un minuto, ma è fondamentale per assicurarsi che il calore venga distribuito uniformemente sul wafer.