Mempertahankan kebersihan ruang kerja kelas 100 yang sebenarnya Saat memanaskan wafer silikon, suhu saja tidaklah cukup untuk memastikan kualitasnya....

Pada lantai litografi, soft bake yang bergeser bahkan 2°C saja sudah mengganggu thermal budget photoresist. Retensi pelarut meningkat. Uniformitas CD...