Role
आप 300mm लाइन पर, डाइसिंग से ठीक पहले वेफर थिनिंग के दौरान थर्मल तनाव कैसे यील्ड लॉस में बदलता है, इस पर विशेषज्ञ हैं। बैक ग्राइंडिंग के दौरान सपोर्ट हीटर में होने वाला कोई भी ड्रिफ्ट या स्पाइक पतले वेफर को क्रैक कर सकता है और माइक्रो-क्रैक्स पैदा कर सकता है, जो बाद में फेल्योर के रूप में सामने आते हैं। हमने अपना बैक ग्राइंडिंग सपोर्ट हीटर इस अनिश्चितता को खत्म करने और उस क्षेत्र में तापमान को स्थिर एवं समान बनाए रखने के लिए बनाया है जहां सब्सट्रेट सबसे अधिक संवेदनशील होता है।
इसका केंद्र एक शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड क्वार्ट्ज इमिटर एरे है, जो तेज़, स्थानीयकृत हीटिंग के लिए ट्यून किया गया है और वेफर स्तर पर ±0.1°C की समानता प्रदान करता है। तापमान की पुनरावृत्ति ±0.5°C के भीतर बनी रहती है, चाहे शिफ्ट परिवर्तन हो या लैंप की उम्र, जिससे हर वेफर के लिए थर्मल बजट निर्दिष्ट सीमा में रहता है। हॉट जोन को मेकेनिकल स्टेज से अलग किया गया है, जिससे पार्टिकल जेनरेशन लगभग शून्य रहता है।
यह क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए रेटेड है, और थर्मल पाथ की हर सतह को आउटगैसिंग और शीडिंग को न्यूनतम करने के लिए निर्दिष्ट किया गया है।
बैक ग्राइंडिंग में, तनाव को कम करने और चिपकने की क्षमता बनाए रखने के लिए ताप की आवश्यकता होती है, बिना फोटोरेसिस्ट को नरम किए या बैक-एंड फिल्म्स को नुकसान पहुंचाए। हमारा हीटर सेकंडों में सेटपॉइंट तक पहुंचता है, विभिन्न स्पिंडल लोड के तहत स्थिर तापमान बनाए रखता है, और 24/7 बिना अप्रत्याशित डाउनटाइम के चलता है। इसका परिणाम कम एज चिप्स, कम स्क्रैप और पूरे बैच में स्थिर मोटाई नियंत्रण के रूप में होता है।
इंस्टॉलेशन मुख्य रूप से चक और कैरियर इंटरफेस डायमेंशन्स के मेल पर निर्भर करता है। सामान्य प्लेटफॉर्म के लिए रेट्रोफिट किट उपलब्ध हैं, लेकिन संरेखण सहिष्णुता कड़ी होती है। अपने फिल्म स्टैक और स्पिंडल ड्यूटी साइकिल के अनुसार PID प्रोफाइल को ट्यून करने के लिए एक छोटा क्वालिफिकेशन रन बजट करें।
एक बार कैलिब्रेट हो जाने पर, प्रोसेस विंडो खुलती है—और खुली रहती है।