फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट तापमान पर ही निर्भर है। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान 1°C का अंतर भी फोटोरेजिस्ट के गुणों को प्रभावित कर देता है; इससे एचईटीसी का मान भी प्रभावित हो जाता है। आईआर हीटिंग सिस्टम को एक सामान्य ऊष्मा स्रोत के रूप में ही देखना चाहिए… ऐसा करने से ही समस्याएँ पैदा होती हैं। वास्तव में, लैंप के वोल्टेज की स्थिरता ही वेफर के तापमान को स्थिर रखने में मदद करती है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम फैब आईआर सिस्टम में वोल्टेज रेगुलेटर का उपयोग करते हैं, ताकि लाइन वोल्टेज में बदलाव होने पर भी लैंप का आउटपुट स्थिर रहे। इससे वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। इसका परिणाम यह है कि सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाएँ नियमित रूप से ही हो पाती हैं, एवं फोटोरेजिस्ट का विघटन भी ठीक उसी तरह ही होता है। क्लीनरूम क्लास 1–100 को बनाए रखने हेतु, सामग्रियों से होने वाले गैस उत्सर्जन को कम रखना आवश्यक है… कोई भी कण वेफर या कोटिंग पर नहीं जाना चाहिए।
लिथोग्राफी में इसका क्या महत्व है?
तापीय स्थिरता बहुत ही महत्वपूर्ण है। स्थिर आईआर ऊर्जा स्रोत से फोटोरेजिस्ट का प्रवाह स्थिर रहता है, एवं एचईटीसी की अखंडता भी बनी रहती है… इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। प्रक्रिया बार-बार नियमित रूप से ही हो पाती है… तापमान के कारण कोई समस्या नहीं होती। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि रेगुलेटर अतिरिक्त ऊर्जा को नियंत्रित करता है… एवं छोटे बदलावों के कारण होने वाले अलार्म भी नहीं आते।
आपको क्या करना आवश्यक है?
रेगुलेटर, मानक क्वार्ट्ज-हैलोजन एवं छोटी/मध्यम तरंगदैर्घ्य वाले आईआर स्रोतों के साथ ही काम करता है… लेकिन आपको लैंप की ज्यामिति एवं थर्मल मास को भी ध्यान में रखना होगा। इंस्टॉलेशन के दौरान, रेगुलेटर को बेक मॉड्यूल के वायरिंग एवं थर्मल फीडबैक पथ से जुड़ना होगा… रिटेलाइनिंग के बाद PID लूप को फिर से समायोजित करना होगा… तभी ही ±0.1°C का प्रदर्शन प्राप्त होगा। फोटोरेजिस्ट स्टैक के लिए आवश्यक प्रोफाइल को निर्धारित करने हेतु एक छोटा परीक्षण भी आवश्यक है।