लिथोग्राफी प्रक्रिया में, अगर तापमान में आधा डिग्री भी परिवर्तन हो जाए, तो इसका प्रभाव तुरंत ही दिखाई देता है – वायरों की मोटाई में परिवर्तन हो जाता है, और उत्पादन दर में भी कमी आ जाती है। आप तो निर्धारित मानकों के अनुसार ही काम करने की कोशिश कर रहे हैं, लेकिन बेकिंग मॉड्यूल, वेफरों की समानता बनाए रखने में बाधा डालता है; साथ ही, कणों के निर्माण के कारण क्लीनरूम में भी समस्याएँ उत्पन्न हो जाती हैं। लीनियर इन्फ्रारेड हीटिंग, इन दोनों समस्याओं का एक साथ समाधान करता है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
लीनियर इन्फ्रारेड एमिटर, त्वरित रूप से ऊष्मा प्रदान करता है, एवं वेफरों के तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखता है। थर्मोस्टैट सेटिंगों में परिवर्तन, सेकंडों में ही हो जाता है; इसलिए तापमान में कोई अतिरिक्त परिवर्तन नहीं होता। यह उपकरण, क्लास 1–100 क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है… ऐसे में कोई कण भी नहीं बनते। इसका आउटपुट, 5,000 घंटों से अधिक समय तक स्थिर रहता है… एवं इंटेंसिटी में 5% से भी कम परिवर्तन होता है। इसका आकार एवं इंटरफेस, मानक सेमीकंडक्टर उपकरणों के समान ही है… इसलिए इसे बिना किसी परिवर्तन के ही प्रोसेस चैंबर में लगाया जा सकता है।
फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया में यह क्यों कारगर है?
फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया में, तापमान का नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है… इस एमिटर की मदद से, तापमान को नियंत्रित रखा जा सकता है… इससे CD नियंत्रण बेहतर हो जाता है, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। तापमान बढ़ने की प्रक्रिया भी तेज हो जाती है… इससे साइकल टाइम कम हो जाता है… एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। परिणामस्वरूप, उत्पादन दर स्थिर रहती है… रखरखाव के लिए आवश्यक समय भी कम हो जाता है… एवं बेकिंग तापमान से संबंधित समस्याएँ भी कम हो जाती हैं।
इंस्टॉलेशन संबंधी जानकारी:
वेफर के संदर्भ में, ऑप्टिकल एलाइनमेंट बहुत ही महत्वपूर्ण है… ताकि अनावश्यक परावर्तन न हों। एमिटर की ऊर्जा एवं नियंत्रण प्रणाली को अपनी आवश्यकताओं के अनुसार समायोजित करना आवश्यक है। यह उपकरण, मानक ऊर्जा एवं नियंत्रण इंटरफेसों के साथ ही काम करता है… लेकिन थर्मल मैनेजमेंट की व्यवस्था पहले से ही करनी आवश्यक है… ताकि वेफर गर्म होने के दौरान चैंबर में ठंडक बनी रहे।