http://ir-heating-supply.com/he/tags/%D7%9B%D7%95%D7%97%D7%95%D7%AA-%D7%94%D7%9E%D7%95%D7%93%D7%99%D7%A2%D7%99%D7%9F/ Recent content in כוחות המודיעין on Leading IR Heating Supplier Hugo he Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/he/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/he/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="טמפרטורת אפיית ריכוך של פוטורזיסט IR"></p> <h1 id="על-רצפת-הליתוגרפיה">על רצפת הליתוגרפיה</h1> <p>אפייה רכה שסטיה של עד 2°C משנה את תקציב החום של הפוטורזיסט. שאריות הממס עולות. אחידות הממד הקריטי נפגעת. ההבדל הזה הוא הקו בין אצווה תקינה לגרוטאה. בנינו את מודול האפייה הרכה באינפרא-אדום כדי לייצר בקרת תהליך שאינה תלויה בשינויים כאלה.</p> <h2 id="מה-שחשוב-מבחינה-טכנית">מה שחשוב מבחינה טכנית</h2> <p>פולט ה-IR מבוסס קוורץ קצר-גל, מחמם ישירות את פני השבב – ללא מגע. בקרת הטמפרטורה שומרת על ±0.1°C אחידה על פני השבב, וחזרתיות נשמרת בתוך ±0.2°C מאצווה לאצווה. הפרופיל מהיר: 15 שניות לייצוב, כך שניתן לקצר את זמן האפייה בלי חריגה.</p>