שמירה על חדר נקי מסוג Class 100 נקי באמת כאשר מחממים שבבי סיליקון, הטמפרטורה לבדה אינה מספיקה. בסביבה מסוג Class 100, גרגיר אבק קטן יכול להרוס כל...

על רצפת הליתוגרפיה אפייה רכה שסטיה של עד 2°C משנה את תקציב החום של הפוטורזיסט. שאריות הממס עולות. אחידות הממד הקריטי נפגעת. ההבדל הזה הוא הקו בין...