http://ir-heating-supply.com/fr/tags/ri/ Recent content in RI on Leading IR Heating Supplier Hugo fr Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/fr/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/fr/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Température de cuisson douce du photorésist IR"></p> <h1 id="sur-le-plan-de-lithographie">Sur le plan de lithographie</h1> <p>Un soft bake qui dérive même de 2°C perturbe le budget thermique du photoresist. La rétention de solvant augmente. L&rsquo;uniformité des dimensions critiques est affectée. Cette différence fait la ligne entre un bon lot et des déchets. Nous avons conçu notre module de soft bake infrarouge pour éliminer cette variabilité.</p> <h2 id="ce-qui-compte-techniquement">Ce qui compte techniquement</h2> <p>L&rsquo;é<a href="https://o-yate.net">metteur</a> IR utilise du quartz à ondes courtes, chauffant directement la surface de la plaquette—sans contact. Le contrôle de la température <a href="https://henruite.com">maintient</a> un écart de ±0.1°C sur la plaquette, et la répétabilité reste dans une fourchette de ±0.2°C d&rsquo;un lot à l&rsquo;autre. Le profil est rapide : 15 secondes pour la stabilisation, ce qui réduit le temps de cuisson sans dépassement.</p>