Lampe infrarouge en fibre de carbone fabrique

Thu, 04 Jun 2026 03:32:15 +0800

Sur la ligne de lithographie, une cuisson douce déviant de seulement un demi-degré suffit à faire sortir le contrôle des dimensions critiques des spécifications. La production s’arrête. Les wafers sont mis au rebut. Nous avons conçu le système de lampes infrarouges en fibre de carbone pour éviter cela — en verrouillant la température exactement là où le procédé l’exige, poste après poste.

Ce qui compte, techniquement
Les émetteurs infrarouges en fibre de carbone atteignent rapidement une chaleur stable grâce à une réponse rapide et une faible masse thermique. On obtient une uniformité au niveau du wafer dans une plage de ±0,1°C sur la surface de cuisson, garantissant que les étapes de cuisson douce et de cuisson dure restent dans le budget thermique. La compatibilité avec les salles blanches de classes 1 à 100 n’est pas un détail : des matériaux à faible dégazage, des boîtiers scellés et un chemin optique exempt de particules protègent le rendement sur le wafer, pas dans l’air. La répétabilité de la puissance émise est maintenue en continu, avec des données de durée de vie attestant plus de 5 000 heures avant que la puissance ne chute au-delà de 5 %.

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Lampe infrarouge en fibre de carbone fabrique