Arrêtez d’attendre que votre chambre à vide se réchauffe
Si vous essayez de créer une usine de fabrication moderne et intelligente, vous avez probablement remarqué que gérer la chaleur est un véritable problème. Le chauffage résistif traditionnel est simplement trop lent. Vous passez la moitié de votre temps à attendre que les choses se réchauffent, et essayer de faire en sorte que ce processus fonctionne correctement avec vos outils numériques relève du cauchemar.
C’est là que les chauffeurs infrarouges entrent en jeu. Au lieu de chauffer toute la pièce, ils utilisent une radiation directe. Cela signifie que vous atteignez la température souhaitée presque instantanément. Plus besoin d’attendre que les parois de la chambre se réchauffent avant de pouvoir commencer à travailler.
Rendre le système vraiment “intelligent”
Une usine de fabrication intelligente n’est bonne que dans la mesure où ses systèmes de contrôle sont efficaces. Si votre chauffeur met dix minutes pour réagir, vos données ne servent à rien.
Les systèmes infrarouges, eux, réagissent dès que vous modifiez la tension. Lorsque vous les connectez à un PLC équipé d’un contrôleur PID rapide, vous pouvez ajuster le flux thermique en temps réel. Vous obtenez ainsi une carte thermique précise de votre wafer, avec une précision jusqu’à l’ordre du millisecondes. La chauffe n’est plus alors juste une tâche secondaire – c’est plutôt une donnée précise que vous pouvez contrôler.
La réalité du travail en milieu sous vide
Le problème, c’est que, une fois en milieu sous vide, on perd le refroidissement par convection. Tout se passe par rayonnement.
Nous construisons ces lampes pour qu’elles puissent gérer une grande quantité d’énergie, mais il faut être prudent. Si vous augmentez trop la puissance, les systèmes de refroidissement doivent travailler davantage. S’ils ne parviennent pas à compenser l’augmentation de la température ambiante, les joints de la chambre vont se détériorer. Il s’agit donc de trouver un équilibre. Assurez-vous que votre système de refroidissement est suffisamment performant pour gérer l’énergie générée, sinon vous devrez remplacer les joints bien plus souvent que nécessaire.
Gagner de l’espace
L’un des avantages majeurs des chauffeurs infrarouges, c’est qu’ils ne prennent pas beaucoup d’espace. Vous pouvez ainsi abandonner ces chauffages volumineux au profit de ceux-ci.
Cela réduit considérablement le temps de cycle. Comme l’énergie est dirigée directement vers le substrat, vous n’avez plus à gaspiller de l’électricité pour chauffer les pompes à vide et les parois de la chambre. C’est plus efficace, cela réduit les coûts d’électricité, et cela rend beaucoup plus simple l’extension de toute votre ligne de production.