http://ir-heating-supply.com/fa/tags/%D9%81%D8%AA%D9%88%D8%B1%D8%B2%D8%B3%D8%AA/ Recent content in فتورزست on Leading IR Heating Supplier Hugo fa Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/fa/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/fa/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="دمای پخت نرم رزین حساس به نور IR"></p> <p>در سالن لیتوگرافی، یک نرم‌پخت که حتی ۲ درجه سانتی‌گراد نوسان دارد، بودجه حرارتی فوتورزیست را به هم می‌زند. میزان نگهداری حلال افزایش می‌یابد. یکنواختی CD آسیب می‌بیند. همین اختلاف خط مرز بین محموله سالم و ضایعات است. ما ماژول نرم‌پخت مادون قرمز خود را برای حذف این نوسان ساختیم.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد</strong><br> پراب IR از کوارتز موج کوتاه استفاده می‌کند و سطح ویفر را مستقیماً گرم می‌کند—بدون تماس مستقیم. کنترل دما ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد روی سطح ویفر حفظ می‌شود و تکرارپذیری بین محموله‌ها در محدوده ±۰.۲ درجه سانتی‌گراد قرار دارد. نمایه حرارتی سریع است: ۱۵ ثانیه برای تثبیت دما، بنابراین زمان پخت کاهش می‌یابد بدون اینکه دما از نقطه تعیین شده تجاوز کند.</p>