Dejen de convertir sus herramientas de semiconductores en “hornos”
Las lámparas infrarrojas estándar tienen un problema: emiten calor en todas las direcciones. Cuando se colocan dentro de una cámara de procesamiento, ese calor se dispersa por todos lados, lo cual representa un verdadero problema.
La mayor parte de esa energía ni siquiera llega al wafer; en cambio, choca contra las paredes internas de la cámara. Esto hace que todo el chasis de la máquina funcione como un enorme radiador. El resultado? Las paredes exteriores se calientan tanto que pueden quemar al operario, y los sistemas de refrigeración deben trabajar arduamente para mantener las temperaturas bajo control.
El truco definitivo
Para solucionar esto, aplicamos una fina capa de oro en la mitad posterior del revestimiento de cuarzo. Pensemos en ello como un espejo de alta calidad para la luz infrarroja. En lugar de permitir que el calor se disperse hacia la parte trasera de la cámara, el oro lo refleja hacia adelante. De este modo, el calor se concentra exactamente donde se necesita. Así, se elimina ese “efecto horno” dentro de la herramienta.
Qué beneficios tiene esto para su equipo
Al evitar que el calor se disperse por todas partes, el chasis de su equipo puede descansar un poco. No es necesario diseñar sistemas de refrigeración sofisticados ni instalar ventiladores potentes para asegurarse de que las superficies externas estén seguras al tacto. De esta manera, toda la estructura térmica se vuelve mucho más simple y eficiente.
Algunas cosas a tener en cuenta
Ahora bien, hay un detalle importante: al concentrar el calor, la densidad térmica en la superficie objetivo aumenta. Debe asegurarse de que su sustrato pueda soportar ese aumento de temperatura sin deformarse o presentar manchas.
Además, si reemplaza las lámparas estándar por lámparas recubiertas de oro, debe prestar atención al ajuste del PID. Estas lámparas se calientan muy rápido. Si los controladores no están bien ajustados, podrían producirse sobrecalentamientos.
Un último consejo: utilice cables resistentes a altas temperaturas y mantenga los reflectores impecables. Un poco de polvo en el oro puede causar puntos calientes, lo que acorta rápidamente la vida útil de la lámpara.