Wolframfaden Quarzlampe

Fri, 26 Jun 2026 05:00:27 +0800

Auf der Produktionsfläche ist die Wärmeabgabe des Photoresists entscheidend dafür, dass die Linienbreite konstant bleibt. Wenn das Profil der Wärmeeinwirkung nicht mehr konstant ist, variiert die Dicke des Photoresists stark – dadurch wird die Kontrolle über die kritischen Abmessungen unmöglich, bevor überhaupt das Ätzen beginnt. Wir haben unsere Wolframfaden-Quarzlampen so konzipiert, dass diese Unregelmäßigkeiten beseitigt werden – es entsteht eine konstante, wiederholbare Wärmeeinwirkung genau dort, wo sie benötigt wird.

Was tatsächlich wichtig ist
Im Inneren der Lampe befindet sich ein Wolframfaden in einer hochreinen Quarzhülle – dadurch entsteht eine saubere, kontrollierbare Infrarotstrahlung. Auf der Oberfläche der Schicht entsteht somit eine thermische Homogenität von ±0,1°C. Das bedeutet, dass während des Weichbrennvorgangs die Lösungsmittel gleichmäßig entfernt werden können, und während des Härtebrennvorgangs erfolgt eine zuverlässige Vernetzung des Photoresists. Das System kann in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden, ohne dass es zu Partikelbildung kommt. Dadurch bleiben die Defektzahlen unter Kontrolle. Die Lampe funktioniert 24/7 ohne unplanmäßige Ausfälle, und die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – mit weniger als 5% Intensitätsabfall.

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