http://ir-heating-supply.com/de/tags/unterst%C3%BCtzung/ Recent content in Unterstützung on Leading IR Heating Supplier Hugo de Wed, 03 Jun 2026 12:23:39 +0800 http://ir-heating-supply.com/de/posts/wafer-back-grinding-support-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:23:39 +0800 http://ir-heating-supply.com/de/posts/wafer-back-grinding-support-heater/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Heizung zur Unterstützung des Rückschleifens von Wafern"></p> <p>Auf der 300mm-Linie ist das Wafer-Dünnen <a href="https://o-yate.com">direkt</a> vor dem Dicing der Punkt, an dem thermische Spannungen zu Ausschuss führen. Ein Support-Heizer, der während des Rückschleifens driftet oder Spitzen aufweist, kann dünne Wafer zum Reißen bringen und Mikrorisse verursachen, die später als Ausfälle sichtbar werden. Unser Support-Heizer für das Rückschleifen wurde entwickelt, um diese Unsicherheit auszuschließen und die Wärme dort stabil und gleichmäßig zu halten, wo das Substrat am empfindlichsten ist.</p> <p>Das Herzstück ist ein Kurzwelligen Infrarot-Quarzemitter-Array, abgestimmt auf schnelles, lokalisiertes Heizen mit Wafer-Ebenen-Uniformität von ±0,1°C. Die Temperaturwiederholgenauigkeit liegt bei ±0,5°C über Schichtwechsel und Lampenlebensdauer, sodass das thermische Budget für jeden Wafer innerhalb der Spezifikation bleibt. Die Heizzone ist vom mechanischen Stage isoliert, wodurch die Partikelbildung effektiv auf null reduziert wird.</p>