http://ir-heating-supply.com/de/tags/spannung/ Recent content in Spannung on Leading IR Heating Supplier Hugo de Sat, 27 Jun 2026 04:49:55 +0800 http://ir-heating-supply.com/de/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ Sat, 27 Jun 2026 04:49:55 +0800 http://ir-heating-supply.com/de/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Spannungsregler für Fab IR"></p> <p>In der Fertigungshalle ist das Fotoleitmittel empfindlich gegenüber Temperaturveränderungen. Eine Abweichung von 1°C während des Weichbrennvorgangs oder des Hartbrennvorgangs kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen des Fotoleitmittels nicht mehr eingehalten werden können. Zudem leidet auch die Selektivität beim Ätzen. Wenn man die Infrarotheizung wie eine gewöhnliche Heizquelle behandelt, läuft man auf Probleme zu – tatsächlich ist es die Stabilität der Lampenspannung, die für eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche sorgt.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist:</strong> Wir legen fest, welche Spannungsregelung in der Infrarotheizung verwendet wird, damit die Lampenleistung konstant bleibt – auch dann, wenn die Netzspannung schwankt. Dadurch bleibt die Temperatur der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C. Das Ergebnis sind wiederholbare Prozessabläufe beim Weich- und Hartbrennen, wobei die Entfernung des Lösungsmittels aus dem Fotoleitmittel genau dort stattfindet, wo es sein sollte. Ein Reinraumstandard von Klasse 1–100 wird erreicht, indem man dafür sorgt, dass die Materialien wenig Gase abgeben und die Architektur des Systems so gestaltet wird, dass keine Partikel zurück auf die Wafer oder in die Beschichtungszone gelangen.</p>