http://ir-heating-supply.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Leading IR Heating Supplier Hugo de Sun, 19 Jul 2026 15:59:34 +0800 http://ir-heating-supply.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 15:59:34 +0800 http://ir-heating-supply.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensor Wafern"></p> <p><strong>MemS-Wafern trocknen – ohne Probleme</strong><br> Beim Trocknen von MemS-Sensorwafern muss man vorsichtig vorgehen. Das Flüssigkeit muss schnell entfernt werden – doch wenn man zu aggressiv vorgeht, können die winzigen, empfindlichen Mikrostrukturen <a href="https://o-yate.net">besch</a>ädigt werden.</p> <p>Lange Zeit wurden dazu große Konvektionsöfen verwendet. Doch ehrlich gesagt: Die Erwärmung einer großen Menge an Luft nur zum Trocknen einer dünnen Wafer ist verschwendete Energie. Deshalb haben wir auf kurzwellige IR-Heizlampen umgestellt. Das ist eine effektivere Methode – außerdem wird dadurch der CO2-Ausstoß im Reinraum reduziert.</p>