SRD (Spin Rinse Dryer) Infrarotlampe

Thu, 02 Jul 2026 08:44:47 +0800

In der Fertigungshalle ist der SRD-Zyklus ein schneller, intensiver Prozess – Spülen, Trocknen, Behalten. Wenn die Infrarotlampe an Leistung verliert, merkt man das sofort: Es entstehen Streifen auf den Wafern, es kommen Partikel zum Vorschein, und die Qualität des Photoresists verschlechtert sich – doch das wird erst Stunden später bemerkt. Wir haben unsere SRD-Infrarotlampe so konzipiert, dass sie 24/7 arbeiten kann, ohne an Leistung zu verlieren.

Was wirklich wichtig ist: Es handelt sich um kurzwelliges Infrarotlicht, das durch schnell reagierende Quarzelemente erzeugt wird. Die Reaktionszeit beträgt weniger als eine Sekunde, und es bleibt eine hohe thermische Homogenität über die gesamte Fläche der Wafer gewährleistet. Während der Trockenphase hält die Temperatur bei ±0,1 °C – dadurch bleibt die Integrität des Photoresists erhalten. Die Lampe funktioniert auch in Umgebungen der Klasse 1–100 – es entstehen keine Partikel, und der versiegelte Gehäuse schützt vor Ausgasungen und Verunreinigungen. Man kann mit einer Lebensdauer von über 5.000 Stunden bei voller Leistung rechnen, wobei die Leistung nur um weniger als 5 % abnimmt. Es gibt also keine unerwarteten Ausfälle während des kontinuierlichen Betriebs.

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SRD (Spin Rinse Dryer) Infrarotlampe