V provozu výroby je právě tepelný profil fotorezisty to, co zajišťuje správnou šířku vrstvy. Pokud začne profil teplotního zpracování selhávat,...

Na lithografické podlaze stačí měkké pečení s odchylkou o půl stupně, aby došlo ke ztrátě kontroly kritických rozměrů. Linka se zastaví. Plátky se...