V prostředí litografie může i nepatrné množství vlhkosti na povrchu narušit průběh procesu vypalování. Ztrácíte tím kontrolu nad tloušťkou fotorezistu a kvalitou CD ještě předtím, než vůbec použijete zařízení na exponování. Horké desky nemusí být schopny rychle odstranit tu vrstvu bez zahřívání zadní strany čipu – a právě tam se objevují problémy s deformací vzorů. Vytvořili jsme lampu na odstraňování vlhkosti, která tento problém efektivně řeší – sušení probíhá pouze na přední straně čipu, rychle a bez zbytečného zvyšování teploty.
Toto zařízení využívá krátkovlnné halogenové prvky uvnitř křemíkové obálky, které umožňují rychlé a kontrolované uvolňování energie. V expozované oblasti je dosažena rovnoměrnosti ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost nastavených hodnot zůstává v rozmezí několika stupňů. Taková stabilita znamená, že parametry procesu vypalování se nezmění mezi jednotlivými šaržemi.
Zařízení může fungovat v čistých prostorách třídy 1–100, aniž by zvyšovalo počet částic ve vzduchu. Nízká hmotnost zařízení navíc snižuje tepelné zpoždění při změnách režimů práce.
V každodenní praxi čipy vstupují do tohoto sušiče, dochází k menšímu počtu vad spojených s vlhkostí a parametry fotorezistu zůstávají stabilní. Doba cyklu se zkracuje, protože odstraňování vlhkosti probíhá během sekund, nikoliv minut. Spotřeba energie zůstává nízká ve srovnání s celými moduly na vypalování čipů. Spolehlivost tohoto zařízení je taková, jakou potřebujete v průmyslovém provozu – zařízení funguje již více než 5 000 hodin s poklesem výkonu pod 5 %, což umožňuje nepřerušovaný provoz 24/7 bez plánovaných výpadků.
Instalace je jednoduchá, ale klíčové je správné zarovnání zařízení. Lampa musí osvětlovat pouze přední povrch čipu, přičemž úhel svitu musí odpovídat velikosti čipu, aby se neohřály jeho okraje. Očekávejte krátký proces kalibrace, během kterého se nastaví doba působení lampy a její intenzita tak, aby pracovala spolu s procesem vypalování, a ne proti němu.
Výsledky jsou jednoduché: fotorezistent funguje předvídatelně, kontrola kvality CD zůstává spolehlivá a nemusíte vyhazovat šarže kvůli vlhkosti, která se dostala dovnitř ve špatný okamžik.