V továrně na výrobu čipů je fotorezistent citlivý na teplotu. Jakákoli změna o 1 °C během procesu zahřívání může narušit správnou velikost dílu, což také ovlivňuje selektivitu leptání. Pokud budete považovat fázii zahřívání pomocí infračerveného záření za obyčejný zdroj tepla, budete mít problémy – stabilita napětí lampy je to, co skutečně zajišťuje rovnoměrné rozložení tepla na povrchu čipu.
Co je důležité
Nařizujeme použití regulátoru napětí u infračervených zdrojů tepla, aby se výstupní napětí lampy udrželo konstantní, i když se napětí v síti mění. Díky tomu zůstává teplota čipu v rozmezí ±0,1 °C po celé ploše povrchu. Výsledkem jsou opakovaně reprodukovatelné profily zahřívání, přičemž odstraňování rozpouštědel z fotorezistentu probíhá tam, kde má. Čistá prostředí třídy 1–100 jsou dosažena tím, že se materiály minimalizují co do uvolňovaných látek a architektura systému je optimalizována – žádné nečistoty, žádné částice, které by se mohly dostat zpět na čip.
Proč je to důležité v litografii
Termální parametry nelze přehlížet. Stabilní napětí z infračerveného záření zajišťuje konzistentní tok fotorezistentu a zachovává integritu masky určené k leptání. To znamená méně oprav a menší odchylky. Díky tomu je možné dosáhnout opakovanosti procesu v každé várce, s lepší kontrolou velikosti dílu a vyšší úrovní výtěžnosti, která nezávisí na teplotě. Spotřeba energie klesá, protože regulátor eliminuje nadměrné výkyvy napětí. Doba provozu se zvyšuje, protože alarmy spojené s teplotou již nevznikají kvůli malým výkyvům.
Co je potřeba udělat správně
Regulátor funguje s běžnými kvartzo-halogenovými zdroji a zdroji infračerveného záření krátkých/dlhých vlnových délek. Přesto je potřeba vzít v úvahu geometrii lampy a tepelnou hmotnost daného zařízení. Instalace vyžaduje pevnou integraci s vedením modulu zahřívání a s tepelnými obvody – je potřeba znovu nastavit PID smyčku po instalaci, jinak se nedosáhne požadované přesnosti ±0,1 °C. Je také potřeba provést krátké testování, abychom zajistili správný profil pro daný typ fotorezistentu.