V prostředí litografie se i malá odchylka o půl stupně rychle projeví – dochází k kolísáním tloušťky linie a k poklesu kvality výstupního produktu. Snažíte se dodržet požadované parametry, ale modul na zahřívání způsobuje nerovnoměrnosti mezi jednotlivými částmi waferu. Navíc vznikající částice způsobují problémy v čistých prostorách. Lineární infračervené zahřívání řeší oba tyto problémy najednou.
Co je technicky důležité
Lineární infračervený emitor zahřívá přímo a rychle, přičemž udržuje rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C. Změny nastavení probíhají během několika milisekund, takže nedochází k nadměrnému zvyšování teploty. Emitor lze použít v čistých prostorách třídy 1–100, kde nevznikají žádné částice, což potvrzuje monitorování na místě. Výkon emitoru zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou intenzity pod 5 %. Rozměry a rozhraní emitoru odpovídají standardním zařízením určeným k práci s polovodiči, takže ho můžete umístit bez nutnosti změn v procesní komoře.
Proč to funguje při zpracování fotorezistu
Při zpracování fotorezistu je klíčové mít opakovatelné teplotní profile. Díky tomuto emitoru se eliminují problémy spojené s nerezervovaným zahříváním – kontrola rozměrů waferu se zlepšuje a snižuje se počet oprav. Rychlost zahřívání je vyšší, takže se zkracuje doba cyklu, aniž by to ovlivnilo celkovou spotřebu energie. Spotřeba energie klesá, protože zahřívání je cílené a ztráty jsou minimální. Výsledkem je konzistentní kvalita výstupního produktu, předvídatelné intervaly údržby a mnohem méně problémů spojených s teplotou během zpracování.
Co potřebujete vědět při instalaci
Je nutné zajistit přesné zarovnání – optické zarovnání vůči rovině waferu, kontrola mezí mezi jednotlivými částmi waferu, aby se zabránilo nepříznivým odrazům světla. Očekávejte krátký proces kalibrace, aby se upravila emisivita a distribuce výkonu pro vaši konkrétní situaci. Emitor funguje s standardními rozhraními pro napájení a řízení, ale je potřeba předem promyslet systém chlazení, aby komora zůstala chladná, zatímco wafer horký.