ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট তাপমাত্রার উপর নির্ভরশীল। সফ্ট বেক বা হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় ১°C এর মতো পরিবর্তনও ফটোরেসিস্টের ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনকে অস্থিতিশীল করে দেয়; আর ইটিং প্রক্রিয়াও ক্ষতিগ্রস্ত হয়। IR হিটিং সিস্টেমকে একটি সাধারণ তাপ উৎস হিসেবে ব্যবহার করলে সমস্যা দেখা দেয়। ল্যাম্পের ভোল্টেজ স্থিতিশীল থাকলেই ওয়েফারের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা সম্ভব হয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ? ফ্যাব IR সিস্টেমে ভোল্টেজ রেগুলেটর ব্যবহার করা হয়, যাতে লাইন ভোল্টেজ পরিবর্তিত হলেও ল্যাম্পের আউটপুট স্থিতিশীল থাকে। এর ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। এর ফলে সফ্ট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলো নিয়ন্ত্রণযোগ্য হয়; ফটোরেসিস্টের দ্রবণটিও যথাস্থানে থাকে। ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 বজায় রাখতে উপকরণগুলোকে কম গ্যাস নির্গতকারী রাখা হয়; আর কোনো ধরনের ধূলিকণা ওয়েফার বা কোটিং অংশে চলে যায় না।
লিথোগ্রাফিতে এর গুরুত্ব কী? তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য। স্থিতিশীল IR পাওয়ার ফটোরেসিস্টের প্রবাহকে নিয়ন্ত্রণ করে এবং ইটিং মাস্কের অখণ্ডতা বজায় রাখে। এর ফলে পুনরাবৃত্তির সংখ্যা কমে যায়। প্রক্রিয়াটি প্রতিবারই একই রকম হয়; CD নিয়ন্ত্রণও ভালো থাকে। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়; কারণ রেগুলেটর অতিরিক্ত শক্তি নিয়ন্ত্রণ করে। তাপমাত্রা সংক্রান্ত সমস্যাগুলো কমে যাওয়ায় ইউটাইমও বাড়ে।
কী করা দরকার? রেগুলেটরটি স্ট্যান্ডার্ড কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন ও শর্ট/মিডিয়াম-ওয়েভ IR সোর্সগুলোর সাথে কাজ করে। কিন্তু ল্যাম্পের জ্যামিতি ও থার্মাল মাসকের সাথেও এটিকে সামঞ্জস্য করতে হয়। ইনস্টলেশনের সময় বেক মডিউলের ওয়্যারিং ও থার্মাল ফিডব্যাক সিস্টেমের সাথে এটিকে ভালোভাবে ইন্টিগ্রেট করতে হয়। রিটাইমপ্রোফাইল ঠিক করার জন্য PID লুপটিকে পুনর্সামঞ্জস্য করতে হয়। ফটোরেসিস্ট স্ট্যাকের জন্য প্রোফাইলটি ঠিক করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত টেস্ট করা দরকার।