
ফ্যাব ফ্লোরে, SRD চক্রটি খুব দ্রুত ও কার্যকরভাবে সম্পন্ন হয়—ধোয়া, শুকানো, ধরে রাখা। যদি IR ল্যাম্পটি ধীর গতিতে কাজ করতে শুরু করে, তাহলে সেটা তৎক্ষণাৎ বোঝা যায়: ওয়েফারগুলোতে দাগ দেখা দেয়, কণাগুলো অস্থির হয়ে যায়, আর ফটোরেজিস্টের গুণমান কমে যায়; এসব সমস্যাগুলো ঘণ্টার পর পর ধরা পড়ে। আমরা আমাদের SRD ইনফ্রারেড ল্যাম্পটিকে ৭×২৪ ঘণ্টা ধরে কাজ করার জন্য ডিজাইন করেছি; যাতে এটি কোনো সমস্যার কারণ না হয়।
এখানে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়গুলো হলো: এটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রশ্মি ব্যবহার করে; দ্রুত গতিতে কাজ করে। প্রতিক্রিয়ার সময় কম সেকেন্ডের মধ্যেই হয়; আর চাকের উপর তাপীয় সমানতা বজায় থাকে। শুকানোর পর্বে, ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; এতে ফটোরেজিস্টের গুণমান বজায় থাকে। এটি Class 1–100 পরিবেশে কাজ করে—কোনো কণা উৎপন্ন হয় না; আর সিলড হাউজিংয়ের কারণে গ্যাস ও দূষণ বাইরে থাকে। ৫,০০০+ ঘণ্টা ধরে এটি কাজ করতে পারে; তীব্রতার হ্রাস মাত্র ৫% এর মধ্যে থাকে; আর নিরবচ্ছিন্নভাবে কাজ করার সময় কোনো সমস্যা হয় না।
SRD-এর তাপীয় ব্যবস্থা খুবই সীমিত: দ্রুত গরম করা, শুকানো, আবার করা। এই ল্যাম্পটি শুকানোর প্রক্রিয়াকে দ্রুত ও নিয়ন্ত্রিত করে; ফলে চক্রের সময় কমে যায়, আর ওয়েফারগুলোতে কোনো দাগ থাকে না। প্রতিবার একই তাপমাত্রা বজায় থাকে; ফলে পুনরাবৃত্তির মান ভালো থাকে। শক্তি ব্যবহারও কম হয়—দ্রুত গতি ও দক্ষ কার্যকারিতার কারণে চরম চাহিদা কম থাকে। কম ল্যাম্প পরিবর্তনের ফলে কম বিরতি হয়; আর লাইনটি বেশি সময় ধরে কাজ করতে পারে।
কয়েকটি ব্যবহারিক নোট: ল্যাম্পটির আকার SRD চেম্বারের আকারের সাথে মেলানো উচিত; আর কন্ট্রোলারের ইমিসিভিটি কমপেনসেশনও ঠিক থাকা উচিত। যদি রিফ্লেক্টরগুলো ঠিক না থাকে বা পাইরোমিটারের পাঠ ঠিক না থাকে, তাহলে সেটপয়েন্টটি পরিবর্তিত হয়ে যায়। ইন্টিগ্রেশনের সময় মেকানিক্যাল ইন্টারফেস ও কুলিং প্যাথও ঠিক করা উচিত; আর ক্লিনরুমের পরিবেশও ঠিক থাকা উচিত। সঠিকভাবে অ্যালাইনমেন্ট ও ক্যালিব্রেশন করলে এটি নির্ধারিত অনুযায়ী দিনের পর দিন কাজ করবে। কোনো ব্যতিক্রম নেই।