في ورشة الطباعة بالليثوغرافيا، يمكن لوجود رطوبة سطحية قليلة أن يؤدي إلى مشاكل في عملية التجفيف. وهذا يعني فقدان السيطرة على سمك طبقة المادة الحساسة للضوء، وكذلك على جودة الأقراص المدمجة، حتى قبل استخدام أداة التعرض للضوء. كما أن الألواح الساخنة قد تواجه صعوبة في إزالة هذه الطبقة بسرعة دون تسخين الجانب الخلفي من الرقاقة، وهنا تبدأ مشاكل تشوه الأنماط. لذلك، قمنا بتطوير مصباح خاص لإزالة الرطوبة من الرقاقات، بحيث يقوم بتجفيف السطح الأمامي فقط، وبسرعة، دون التأثير على درجة الحرارة في الرقاقة.
يعمل هذا الجهاز باستخدام عناصر هالوجينية ذات موجات قصيرة داخل غلاف من الكوارتز، مما يسمح بإطلاق الطاقة بسرعة وبشكل مُنضبط. ويمكن الحصول على درجة حرارة موحدة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية في المنطقة المعرضة للضوء، كما أن درجة الحرارة المطلوبة تظل ثابتة، ضمن نطاق بضع درجات فقط. هذا النوع من الاستقرار يعني أن معدلات التجفيف لا تتغير من دفعة إلى أخرى.
يمكن استخدام هذا الجهاز في غرف نظيفة من الدرجة 1-100، دون أن يؤثر ذلك على عدد الجسيمات الموجودة في الهواء. كما أن تصميمه الخفيف يساعد في تقليل التأخير الحراري عند تغيير إعدادات الجهاز.
في الاستخدام اليومي، تدخل الرقاقات إلى جهاز التجفيف، ويقل عدد عيوب الترطيب، كما يصبح مستوى المادة الحساسة للضوء أكثر استقرارًا. كما يقل وقت العملية، لأن إزالة الرطوبة تتم في ثوانٍ بدلاً من دقائق، ويظل استهلاك الطاقة منخفضًا مقارنة بأجهزة التجفيف الكاملة. وهذا يعني أن الجهاز موثوق به للاستخدام المستمر، حيث أنه قد عمل لأكثر من 5,000 ساعة دون أن ينخفض أداؤه بأكثر من 5%، مما يضمن العمل المستمر على مدار 24 ساعة دون توقفات غير مخطط لها.
عملية التركيب بسيطة، لكن التوجيه الصحيح للجهاز أمر مهم. يجب أن يضيء الجهاز السطح الأمامي فقط، ويجب أن يتم تعديل زاوية الإضاءة بحيث تتناسب مع حجم الرقاقة، حتى لا يحدث تسخين زائد في الحواف. يتطلب الأمر فترة قصيرة من الاختبار لضبط وقت الإضاءة وشدتها، بحيث يعمل الجهاز بشكل صحيخ مع عملية التجفيف.
النتيجة بسيطة: المادة الحساسة للضوء تتصرف بشكل متوقع، ويظل التحكم في جودة الأقراص المدمجة دقيقًا، كما يمكن تجنب رمي الدفعات بسبب وجود رطوبة في الوقت الخطأ.