فیبرکی سطح پر، وہ 300 ملی میٹر کا ویفر ٹریک سے نکل کر بیکنگ پلیٹ پر آ جاتا ہے۔ درجہ حرارت میں چند دسویں ڈگری کا فرق بھی، فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو متأثر کر سکتا ہے؛ اس سے سی ڈیاں خراب ہو سکتی ہیں۔ پورا عمل خطرے میں پڑ جاتا ہے۔ لہذا، درجہ حرارت کو بالکل اسی جگہ رکھنا ضروری ہے جہاں پروسیس کارڈ میں بتایا گیا ہے – کوئی استثناء نہیں۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم چین میں شارٹ-ویو انفراریڈ ہیٹرز تیار کرتے ہیں، جو درجہ حرارت کو سب-ملی میٹر سطح تک یکساں رکھنے میں مدد کرتے ہیں۔ کوارٹز ایمیٹرز کو کم حرارتی وزن والے سیرامک باڈی پر رکھا جاتا ہے، تاکہ یہ تیزی سے ٹھنڈا ہو جائے اور مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جائے۔ بیکنگ سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1 ڈگری سیلسیس کے اندر رکھا جاتا ہے، اور ہر بار کی کارکردگی 0.2 ڈگری سیلسیس سے کم رہتی ہے۔
یہی وہ حد ہے جو فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو برقرار رکھتی ہے؛ یہ TEOS اور آکسائڈ کی سالمیت کو برقرار رکھتی ہے، اور ذرات کی تعداد کو بھی کنٹرول کرتی ہے۔ کلین روم کلاس 1-100 کے معیارات کے مطابق، کم گیس خارج کرنے والے مواد، بند جوڑ، اور ایسی سطحی ساخت استعمال کی جاتی ہے جس سے کوئی مسئلہ پیدا نہ ہو۔
یہ کیوں کام کرتا ہے؟
لیتھوگرافی کے عمل میں، ویفر کو ہمیشہ مطلوبہ درجہ حرارت پر رکھنا ضروری ہے؛ ہمارے انفراریڈ ہیٹرز، ویفر کو بغیر کسی گرم/ٹھنڈے علاقے کے مطلوبہ درجہ حرارت پر رکھتے ہیں۔ تیز حرارتی ردِعمل سے بیکنگ کا عمل مختصر ہو جاتا ہے، توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے، اور پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے – بغیر درجہ حرارت کو بڑھانے کے۔
مستقل بیکنگ کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، جس سے فلٹرز کی تبدیلی کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے۔ نتیجے کے طور پر، ہر بار ویفر پر درجہ حرارت یکساں رہتا ہے۔
کن باتوں کا خیال رکھنا ضروری ہے؟
ہیٹر کو چیمبر کے سائز اور کلیمپنگ سسٹم کے مطابق منتخب کریں۔ وولٹیج، کنکٹر کی سمت، اور گرم علاقے میں فاصلے کی جانچ ضرور کریں۔ شارٹ-ویو انفراریڈ ہیٹرز تیزی اور کنٹرول فراہم کرتے ہیں، لیکن ایمیٹرز کی عمر محدود ہے؛ لہذا 5,000 سے 8,000 گھنٹوں کے بعد ان کی تبدیلی ضروری ہے، تاکہ کوئی مسئلہ پیدا نہ ہو۔
بہترین یکسانیت کے لئے، سرٹیفائیڈ ویفر میپ کا استعمال کریں، اور ایمیٹرز کو صاف رکھیں۔ ایمیٹرز پر پتلی کوارٹز تہہ سے درجہ حرارت میں تغیر پیدا ہو سکتا ہے۔