اپنی فیکٹری میں آزون کے استعمال کو روکیں۔
آئیے ایمانداری سے بات کرتے ہیں: آلات کی صفائی، کام کا سب سے مشکل حصہ ہے۔
سیمی کنڈکٹر تیار کرنے کے دوران، ہم سب کی کوشش یہ ہے کہ کوئی آلودگی پیدا نہ ہو۔ لیکن اگر آپ عام IR لیمپ یا کنوکشن اوون استعمال کرتے ہیں، تو آپ کو یقیناً ایک مسئلہ کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔ یہ لیمپ 185-254nm کی حد میں روشنی پیدا کرتے ہیں، جس کی وجہ سے کلین روم میں موجود ہوا آزون سے بھر جاتی ہے۔
آزون ایک بہت بڑا مسئلہ ہے۔ یہ آپ کے سرکٹس کو نقصان پہنچاتا ہے، اور HVAC سسٹم کو مسلسل کام کرنے پر مجبور کرتا ہے تاکہ ہوا قابل سانس لینے کے قابل رہے۔ یہ ایک مستقل جنگ ہے۔
آزون کو منبع سے ہی ختم کریں۔
ہم نے فیصلہ کیا کہ صرف علامات کا علاج کرنے کے بجائے، اس کی وجہ ہی دور کی جائے۔
خصوصی کوارٹز فلٹرز کا استعمال کرکے، اور فلامنٹ کے درجہ حرارت پر کنٹرول رکھ کر، ہم اس روشنی کے سپیکٹرم کو تبدیل کر سکتے ہیں۔ اس طرح VUV رینج کی روشنی مکمل طور پر ختم ہو جاتی ہے۔
نتیجہ کیا ہے؟ آپ کو ریزنز کو خشک کرنے یا فوٹوریزسٹس کو خشک کرنے کے لئے پوری حرارت ملتی ہے، لیکن کوئی زہریلا کیمیائی مادہ پیدا نہیں ہوتا۔ یہ ایک صاف ستھرا عمل ہے، کیوں کہ یہ شروع سے ہی اس طرح ڈیزائن کیا گیا ہے، نہ کہ بعد میں کسی مہنگے فلٹر کا استعمال کرکے۔
جہاں واقعی حرارت کی ضرورت ہے، وہاں ہی حرارت فراہم کریں۔
کنوکشن ہیٹنگ، دراصل پورے کچن کو گرم کرکے ایک چھوٹے سے چیز کو گرم کرنے جیسا ہے۔ یہ توانائی کا ضیاع ہے۔
ہمارے IR لیمپ مختلف ہیں۔ یہ براہ راست سبسٹریٹ پر روشنی ڈالتے ہیں۔ یہ بہت تیز ہے۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ آپ کا ڈرائنگ اسٹیشن بہت چھوٹا ہو سکتا ہے۔
لیکن ایک بات یاد رکھیں: اعلیٰ شدت کے IR لیمپ بہت طاقتور ہیں۔ اگر سبسٹریٹ پتلی ہے، تو احتیاط نہ کرنے پر یہ تنگ ہو سکتا ہے۔ آپ کو اپنے کنویئر کی رفتار اور لیمپ کے فاصلے کو درست کرنے کی ضرورت ہے، تاکہ مواد پر کوئی دباؤ نہ پڑے۔
انہیں بس پلگ ان کریں۔
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ یہ لیمپ بغیر کسی تبدیلی کے استعمال کئے جا سکتے ہیں۔ آپ کو پورے سسٹم کو دوبارہ تیار کرنے کی ضرورت نہیں ہے؛ یہ آپ کی موجودہ صنعتی بجلی سے ہی کام کرتے ہیں۔
اور چونکہ اب آپ کو آزون کا سامنا نہیں کرنا پڑتا، اس لئے لیمپوں کے کیسوں کو ان بھاری، مضبوط اور زنگ سے محفوظ مواد سے بنانے کی ضرورت نہیں ہے۔ اس سے آپ کو وقت کے ساتھ بہت پیسے بچ سکتے ہیں۔
براہ کرم، ہر چھ ماہ بعد اپنے ریفلیکٹر کی الائنمنٹ کی جانچ کریں۔ اس میں صرف ایک منٹ لگتا ہے، اور اس سے یقین ہو جاتا ہے کہ ویفر پر حرارت یکساں طور پر پڑ رہی ہے۔