На поверхні підлоги, де відбувається процедура літографії, навіть незначна кількість вологи може завадити правильному виконанню процедури висушування. Це призводить до втрати контролю над товщиною фотолаку та якістю дисків ще до початку процедури обробки. Гарячі плати не завжди можуть ефективно висушити поверхню диска, не нагріваючи при цьому його зворотну сторону. Саме тоді і починається спотворення форми диска. Ми створили спеціальну лампу для видалення вологи з поверхні диска – вона дозволяє ефективно висушити поверхню без значного нагрівання.
У цій лампі використовуються короткохвильові галогенні елементи, розміщені всередині кварцової оболонки. Це дозволяє швидко та контрольовано передавати енергію. На оброблюваній поверхні досягається однорідність температури ±0,1°C, а точність налаштувань залишається в межах кількох градусів. Така стабільність забезпечує точне виконання процедур висушування.
Лампу можна використовувати у чистих приміщеннях класу 1–100, без підвищення кількості частинок у повітрі. Компактний дизайн також допомагає зменшити теплові втрати під час зміни налаштувань.
У повсякденній практиці диски потрапляють у пристрій для висушування, і кількість дефектів, пов’язаних із вологою, значно зменшується. Час обробки скорочується, оскільки видалення вологи відбувається за кілька секунд, а споживана потужність залишається низькою порівняно з пристроями для повного висушування диска. Надійність цього пристрою дозволяє йому працювати 24/7 без перерв.
Встановлення пристрою є простим, але для правильної роботи необхідно правильно налаштувати його. Лампа повинна освітлювати лише передню поверхню диска, а кут направлення променя має відповідати розміру диска, щоб не нагрівати його краї. Для правильної роботи лампи необхідно налаштувати час її роботи та інтенсивність світіння.
Переваги цього пристрою полягають у тому, що фотолак поводиться прогнозовано, контроль якості дисків залишається точним, а ви можете уникнути відкидання партій продукції через вплив вологи.