На виробничій лінії фотосмола є чутливою до температури. Зміна температури на 1°C під час процедури нагрівання може призвести до зсуву критичних розмірів елементів, а також до погіршення селективності процесу етchingу. Якщо ставитися до етапу нагрівання за допомогою інфрачервоного проміння як до звичайного джерела тепла, це приведе до проблем – саме стабільність напруги лампи забезпечує необхідну термічну однорідність на поверхні пластинки.
Що є важливим для правильної роботи обладнання
Ми встановлюємо регулятор напруги на обладнанні для нагрівання, щоб напруга вихіду лампи залишалась стабільною, навіть коли напруга в мережі змінюється. Це дозволяє підтримувати температуру пластинки в межах ±0,1°C по всій її поверхні. У результаті досягається можливість повторюваних процедур нагрівання, а розчинник фотосмоли залишається на своєму місці. Для досягнення класу чистоти 1–100 необхідно забезпечити мінімальне виділення газів з матеріалів та правильну конструкцію обладнання – без частинок, які можуть потрапити на пластинку.
Чому це важливо у процесі літографії
Стабільність температури є необхідною умовою для правильної роботи обладнання. Стабільна потужність інфрачервоного проміння забезпечує стабільний потік фотосмоли та зберігає цілісність маски для етchingу. Це значить менше необхідності в повторних процедурах та менше відхилень в результатах. Можлива повторюваність процесу з точним контролем критичних розмірів елементів. Використання енергії зменшується через стабільну напругу лампи, а тривалість роботи обладнання покращується завдяки відсутності сигналів тривоги через незначні зміни температури.
Що потрібно зробити для правильної роботи обладнання
Регулятор напруги може працювати зі стандартними кварцово-галогеновими та коротко/середньохвильовими інфрачервоними джерелами. Однак все одно необхідно враховувати геометрію лампи та її теплову ємність. Під час встановлення необхідно забезпечити щільну інтеграцію регулятора з електропроводкою обладнання та системою термічного контролю. Після налаштування необхідно перевірити роботу обладнання, щоб досягти бажаних параметрів температури.