Чому ми переходимо від використання гарячого повітря до використання інфрачервоного опалення у процесі обробки напівпровідників
Якщо ви коли-небудь мали справу з циркуляцією гарячого повітря, ви знаєте, як це працює: спочатку нагрівається повітря, а потім сподіваєшся, що саме це повітря нагріє деталь. У світі обробки напівпровідників цей „посередник“ – повітря – є значною перешкодою для ефективної обробки.
Це особливо помітно під час процедур висихання та стабілізації матеріалу. Доводиться просто чекати, поки температура підніметься, а тим часом продуктивність залишається на низькому рівні. Це дуже розчаровуюче.
Проблема полягає у затримці процесу нагріву.
Інфрачервоне опалення усуває цю проблему. Замість того, щоб чекати, поки камера нагріється, інфрачервоне випромінювання передає енергію безпосередньо в матеріал через електромагнітне поле. Це відбувається миттєво. Не потрібно чекати, поки приміщення нагріється; енергія подається безпосередньо в матеріал.
Це значна різниця у швидкості обробки.
Але не можна просто закріпити інфрачервону лампу на конвеєрі та вважати, що все готово. Корпус лампи повинен бути ідеальним. Ми використовуємо високоякісну нержавіючу сталь – будь-який інший матеріал під таким температурним навантаженням буде деформуватися чи окислюватися.
Корпус лампи виконує ключову функцію – він є рефлектором та скелетом всієї системи. Тут критично важлива точність. Якщо геометрія не є ідеальною, навіть на кілька міліметрів, виникають „гарячі точки“. Ми дуже уважно стежимо за цими параметрами, адже інфрачервоне випромінювання мусить потрапляти на деталь саме туди, куди потрібно.
Але є одна проблема: інфрачервоне опалення є ефективним, але вимогливим до умов. Йому потрібен чистий шлях для проходження випромінювання. Гаряче повітря чудово підходить для нагріву всіх поверхонь, але інфрачервоне випромінювання діє лише там, де може потрапити світло.
Якщо ви працюєте з складними 3D-деталями, однієї лампи буде недостатньо. У такому разі виникнуть „холодні точки“. Щоб уникнути цього, ми або використовуємо кілька ламп, або змушуємо деталь обертатися, щоб кожен її край потрапляв під дію тепла.
Але найбільша перевага полягає у економії простору. Ви можете позбутися величезних, громіздких печей та замінити їх компактними модулями опалення. Це дозволяє зменшити площу, необхідну для обробки, скоротити час виконання процесу та уникнути марної витрати електроенергії на нагрів повітря навколо деталей.